啟迪專精特新丨國產(chǎn)首臺！金竟科技電子束曝光機獲北京市重大技術(shù)裝備認證打印
發(fā)布時間：2025-10-21來源：金竟科技
近日，啟迪投資企業(yè)——北京金竟科技有限責任公司自主研發(fā)的Pharos 310電子束曝光機正式獲得北京市首臺（套）重大技術(shù)裝備認證，標志著該產(chǎn)品成為經(jīng)官方權(quán)威認證的首款國產(chǎn)商業(yè)化電子束曝光設備。此次獲得首臺（套）認證，不僅是對金竟科技技術(shù)實力的高度認可，也是我國在高端科學儀器領域自主創(chuàng)新能力的有力證明。
電子束曝光機又稱電子束光刻機，廣泛應用于微納米加工、半導體器件制備等國家戰(zhàn)略相關領域。此前，我國在該領域長期依賴進口，并屢遭禁運，嚴重制約了科技事業(yè)發(fā)展。金竟科技推出的Pharos系列電子束曝光機打破了這一局面，為解決該領域“卡脖子”困境提供了關鍵支撐。
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